FM-Nanoview 6800AFM
一、主要功能特點(diǎn)
硬件系統(tǒng)
1.光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；2.掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；
3.精密激光檢測(cè)及探針定位裝置，光斑調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單，操作方便；
4.采用樣品趨近探針?lè)绞?，使針尖垂直于樣品掃描?br />
5.伺服馬達(dá)手動(dòng)或自動(dòng)脈沖控制，驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；
6.高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；
7.高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
8.帶光學(xué)定位的CCD觀測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針掃描樣品區(qū)域；
9.采用伺服馬達(dá)控制CCD自動(dòng)對(duì)焦功能；
10.模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；
11.集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。
12.帶溫度、濕度顯示。
13.彈簧懸掛式防震方式，簡(jiǎn)單實(shí)用，抗干擾能力強(qiáng)
14.帶光學(xué)定位功能
軟件系統(tǒng)
1.可觀測(cè)樣品掃描時(shí)的表面形貌像、振幅像和相位像；
2.具備接觸、輕敲兩種模式,可選配（相位、摩擦力、磁力或靜電力工作模式）；
3.可自由選擇圖像采樣點(diǎn)為256×256或512×512；
4.多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖；
5.多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測(cè)量功能；
6.可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；
7.可任意選擇樣品起始掃描角度；
8.激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能；
9.針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能；
10.可任意定義掃描圖像的色板功能；
11.支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能；
12.支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正；
13.支持樣品圖片離線分析與處理功能。
二、主要技術(shù)指標(biāo)
1.工作模式：接觸、輕敲、可擴(kuò)展相位、摩擦力、磁力或靜電力
2.樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
3.最大掃描范圍：橫向50um，縱向5um
4.掃描分辨率：橫向0.2nm，縱向0.05nm
5.掃描速率：0.6Hz~4.34Hz
6.掃描角度：任意
7.樣品移動(dòng)范圍：0～50mm
8.馬達(dá)趨近脈沖寬度：10±2ms
9.光學(xué)放大倍數(shù)：10X
10.光學(xué)分辨率：1um
11.圖像采樣點(diǎn)：256×256，512×512
12.掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
13.數(shù)據(jù)采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
14.反饋方式：DSP數(shù)字反饋
15.反饋采樣速率：64.0KHz
16.計(jì)算機(jī)接口：USB2.0
17.運(yùn)行環(huán)境：運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)
原子力檢測(cè)實(shí)例：
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